原子間力顕微鏡
(Atomic Force Microscope: AFM)




  原子間力顕微鏡(AFM)は、物質の表面特性を原子レベルで研究するための装置です。 ”てこ”の先にある尖ったプローブ(ティップ)を試料の表面に近づけると、ティップと試料表面の間に力が働き、てこがしなります。この変化を電気信号に変換し、試料を走査することにより、試料表面の凹凸をオングストローム(=10-8cm)のオーダーでトレースできます。ティップと試料表面間に働く原子間力を用いるものを、原子間力顕微鏡(AtomicForce Microscope: AFM)といいます。ティップに磁性体を用いると、試料表面の磁気的性質にも応じて変化するので、微小な磁区観察などが可能になります。これを磁気力顕微鏡(MagneticForceMicroscope:MFM)と呼びます。大野研究室では、これらの装置を使って、作製した微細な半導体あるいは磁性体の構造の解析を行っています。



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