Ohno Lab.

オートプローバー・マニュアルプローバー

　プローバーは加工した素子に電流を流して，素子の抵抗などを測定する装置です
　オートプローバーは4端子法を用いて素子の抵抗を測定します。この装置では3-inchウェハ上に加工した多くの素子を自動で測定することができます。磁場掃引測定によりR-H曲線からTMR比の評価、パルス磁場・パルス電流を用いた測定により磁化反転確率から熱安定性やスイッチング電流などの評価を行っています。
　マニュアルプローバーはオートプローバーの様な多くの素子の自動測定はできませんが、上記したような測定に加えて高周波測定も可能です。様々な装置と組み合わせて自由度の高い測定を行っています。